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进出半导体净化车间装修应注意什么?
专栏:净化专栏
发布日期:2023-11-20
阅读量:111
作者:满大装饰

半导体的空间单位以微米为单位,因此用于制造半导体元件的晶圆上附着的灰尘颗粒很可能会影响其上精密导线的排列,导致短路或断路。因此,所有半导体加工设备必须放置在防止灰尘进入的密闭空间内,这就是半导体洁净工作场所的由来。

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让我告诉您进入半导体净化车间装修时应注意什么:

1、半导体洁净厂房内部必须保证灰尘只逸不进。因此,洁净工作场所必须保持大于大气压的环境。这就需要一个大型鼓风机将已清洁设备中的气源引入清洁中。作坊

2、要保持恒温恒湿,必须采用大型空调,配合前置鼓风机和增压系统。当鼓风机推动时,空调必须打开。

3、所有洁净设备的气流方向主要是从上到下,因此洁净工作场所的室内空间设计或机器的放置应避免突兀,以尽量减少灰尘和细菌滋生的机会和时间。在洁净的工作场所中流通和停滞。

4、所有建筑材料主要采用不易产生静电吸附的材料制成。

5、进出洁净工作场所的人或物必须穿戴配套的防尘服,人或物必须先用风淋室吹去表面灰尘。

6. 半导体洁净室只能使用去离子水。一是防止水中的粉末颗粒污染晶圆,二是防止水中的重金属离子污染金属氧半导体结构的载流子通道,影响半导体的性能特性去离子水是一种极好的溶剂和清洁剂,它在半导体行业的用途是惊人的。洁净的车间是保持离子水活性的重要途径之一。

7、半导体洁净车间使用的气源,包括干燥晶圆所需的气源和机器气压,都需要使用98%的氮气,干燥晶圆所用的氮气甚至需要99.8%以上的高纯氮气。

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