用于洁净室的设备必须尽可能在洁净条件下制造，其包装程序也必须满足洁净室的要求。设备送入洁净室的过程不应增加对环境的污染。进入“空”或“静态”洁净室的设备必须正确拆包和清洁，否则以后需要进行大量清洁。特别要注意设备进入“动态”洁净室之前应考虑的问题。这不仅使洁净室面临污染的风险，而且还危及过程中的产品，并且还需要大量的清洁工作。

洁净室如何安装固定式清洁设备

安装设备的有效方法是将设备与洁净室环境的其余部分隔离，在设备周围使用临时墙或隔断，并在设备周围留出足够的空间，以确保不干扰设备的安装。

1）电子厂洁净车间装修设计如有可能，通过服务管道或其他非关键区域进入隔离区域。如果不可能，则必须采取措施尽量减少结构造成的污染。流向该隔离区域的气流必须保持中压或负压，以避免工作区域强制气流造成污染的可能性。

2）完全密封的隔离区域不得从内部加压，否则污染物可能会穿透屏障并影响周围的洁净室。隔离区域应阻断洁净空气的供应，避免对周围洁净室造成压力。如果隔离区域只能通过相邻的洁净室进入，则应使用粘垫清除鞋子上的污染物。进入隔离区后，可能需要穿一次性靴子或鞋子，以避免污染干净的衣服。离开隔离区之前，请取出这些一次性物品。

3) 应制定监测遏制区域周围区域的方法和频率，以确保可以检测到泄漏到相邻洁净室的任何污染物。

4）接下来，设置各种动力设施，如电、水、燃气、真空、压缩空气和废水管道。应注意尽可能控制和遏制这些操作产生的所有烟雾和残留物，避免无意中进入周围的洁净室，这也有助于在隔离屏障拆除之前进行有效的清洁。

5) 然后应使用批准的清理程序清除装修隔离区域的污染物。所有表面都必须清洁、擦拭和清洁，包括所有墙壁、固定和便携式设备以及地板。

6) 电子厂洁净车间装修设计特别注意设备防护板后面和设备下方区域的清洁。

7）现在可以做一些内部准备工作和设备性能的初步测试，但最终的验收测试需要完全的洁净室条件。

8) 现在可以小心地拆除隔热墙，并将过滤后的空气送入临时空气中。必须仔细选择此步骤的时间，以尽量减少对洁净室正常工作的干扰。还可能要求进行颗粒测量或测试。

9) 设备内部和关键处理室必须清洁干净，准备在正常洁净室条件下使用。

10) 所有适当的内部房间以及所有与产品接触或涉及产品转移的表面均被擦拭至所需的清洁度水平。设备必须从上到下清洁，因为如果颗粒分散，较大的颗粒将通过重力落到设备底部或地板上。

11）从上到下清洁设备外部。

12) 必要时，在产品或工艺要求非常关键的区域，必须控制表面颗粒条件。